А. К. Чернышев, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком”, ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 11,страницы 1650

Эта публикация цитируется в 3 статьях

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком

А. К. Чернышев^ab, И. В. Малышев^a, А. Е. Пестов^a, Н. И. Чхало^a

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

Аннотация: Предложен алгоритм решения задачи коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком. Алгоритм предполагает последовательный перебор возвышений относительно среднего с целью поиска наиболее оптимальной точки травления, удовлетворяющей критерию – уменьшение суммы модулей производных на пятне травления. Показано, что новый подход позволяет заметно расширить диапазон пространственных частот, поддающихся воздействию при заданном размере ионного пучка.

Ключевые слова: ЭУФ оптика, форма поверхности, ионно-пучковая коррекция формы, ионное травление.

Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019

DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48323.133-19