Аннотация:
Приведены результаты исследований газоструйного лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения на базе конического сверхзвукового сопла. В качестве мишени использовались молекулярно-кластерные струи CO$_{2}$. Изменением параметров газа на входе в сопло были получены различные режимы истечения газа, изучено влияние данных режимов на эмиссионные и технические характеристики источника излучения. Экспериментально показано увеличение эмиссии излучения при увеличении количества кластеризованного вещества в струе.
Ключевые слова:кластеры, лазерно-плазменный источник излучения, лазерная искра, экстремальное ультрафиолетовое излучение.
Поступила в редакцию: 28.03.2019 Исправленный вариант: 28.03.2019 Принята в печать: 15.04.2019