Исследование резистивного переключения нестационарными сигналами в пленках ZrO$_{2}$(Y) методом атомно-силовой микроскопии

Методом атомно-силовой микроскопии с проводящим зондом изучено локальное резистивное переключение в пленках стабилизированного диоксида циркония на проводящих подложках при переключении сложными нестационарными сигналами. Переключение сопротивления пленок осуществлялось треугольными импульсами напряжения, на которые накладывался высокочастотный синусоидальный сигнал. Обнаружено увеличение отношения силы тока через контакт зонда к поверхности пленки в высокоомном и низкоомном состояниях при наложении синусоидального сигнала (по сравнению с переключением простыми треугольными импульсами). Обнаружено также увеличение временной стабильности силы тока в указанных состояниях при переключении с наложением синусоидального сигнала. Эффект связан с резонансной активацией миграции ионов кислорода по вакансиям в переменном внешнем электрическом поле.