Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$

Исследованы оптические, механические и термические свойства свободновисящих пленочных структур на основе азотированных силицидов молибдена и циркония. Показано, что азотирование силицидов приводит к существенному повышению термической стойкости пленок. Так, если кристаллизация изначально аморфных пленок MoSi$_{2}$ или ZrSi$_{2}$ наблюдалась при температурах 330–370$^\circ$C, то введение азота в пленку позволило повысить температуру, при которой возможна многочасовая эксплуатация MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$ пленок при нагреве в вакуумных условиях, до 600–700$^\circ$C (по крайней мере при $x\ge$ 0.25, $y\ge$ 1.3). Исследование механической прочности на разрыв показало, что предельная прочность слабо зависит от содержания азота в пленках MoSi$_{2}$N$_{x}$ (0 $\le x\le$ 0.55). Сравнение свойств пленок MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$, полученных магнетронным способом при одинаковом парциальном давлении азота, продемонстрировало, что при близких значениях коэффициента пропускания на длине волны 13.5 nm азотированные пленки ZrSi$_{2}$ более эффективны в качестве защитных покрытий (менее подвержены окислению и более устойчивы к деградации при высоких температурах).