М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, E. Meltchakov, “Оптимизация состава, синтез и изучение широкополосных многослойных зеркал для ЭУФ диапазона”, ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 11,страницы 1763

Эта публикация цитируется в 7 статьях

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Оптимизация состава, синтез и изучение широкополосных многослойных зеркал для ЭУФ диапазона

М. М. Барышева^a, С. А. Гарахин^a, С. Ю. Зуев^a, В. Н. Полковников^a, Н. Н. Салащенко^a, М. В. Свечников^a, Р. М. Смертин^a, Н. И. Чхало^a, E. Meltchakov^b

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Laboratoire Charles Fabry, Institut d'Optique Graduate School, Palaiseau, France

Аннотация: Разработаны и изготовлены широкополосные Mo/Si и Mo/Be многослойные зеркала стекового типа для диапазонов длин волн 11.1–13.8, 17–21 и 28–33 nm. Показано, что для таких структур равномерное отражение может быть достигнуто за небольшое число коррекций технологического процесса.

Ключевые слова: ЭУФ, широкополосные зеркала, апериодические зеркала, стековые структуры, рефлектометр с лазерно-плазменным источником.

Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019

DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48341.116-19