Д. C. Квашенников, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, F. Delmotte, E. Meltchakov, “Многослойные зеркала Ag/Y для спектрального диапазона 9–11 nm”, ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 11,страницы 1774

Эта публикация цитируется в 2 статьях

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Многослойные зеркала Ag/Y для спектрального диапазона 9–11 nm

Д. C. Квашенников^ab, С. Ю. Зуев^a, В. Н. Полковников^a, Н. Н. Салащенко^a, Н. И. Чхало^a, F. Delmotte^c, E. Meltchakov^c

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
^c Laboratoire Charles Fabry, Institut d'Optique Graduate School, Palaiseau, France

Аннотация: Изучены многослойные зеркала Ag/Y, предназначенные для работы в диапазоне длин волн 9–11 nm. Определены параметры таких зеркал, в частности, толщины переходных слоев. Показана эффективность применения барьерных слоев B$_{4}$C и Si. Показано, что структуры типа Ag/Y и Ag/Y с барьерными слоями B$_{4}$C обладают плохой временной стабильностью свойств. Наибольший измеренный коэффициент отражения на длине волны 9.34 nm составил 18% для структуры типа Ag/Si/Y. Эти же структуры обладают наилучшей временной стабильностью.

Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, периодические зеркала, проекционная литография.

Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019

DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48343.129-19