Ошибки измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения

Описаны экспериментальный стенд и результаты исследований аберраций источников эталонной сферической волны (ИЭСВ) на основе одномодового оптического волокна с субволновой выходной апертурой с использованием оптической части регистрирующей системы (ОЧРС). ИЭСВ и ОЧРС разрабатываются для безэталонного интерферометра с дифракционной волной сравнения. Описаны методики, позволяющие минимизировать ошибки измерений. Разработанные ИЭСВ и ОЧРС обеспечивают субнанометровую точность измерений оптики. Обсуждены возможности повышения точности измерений интерферометра до пикометрового уровня.