Исследование контаминационной пленки, формирующейся под действием электронного пучка

При исследовании материалов на электронно-зондовых приборах в области действия электронного пучка формируется контаминационная углеводородная пленка, которая оказывает влияние на результаты экспериментов. В настоящей работе исследовано влияние контаминационной пленки, сформированной на диэлектрических образцах с углеродным напылением, на интенсивность катодолюминесценции и рентгеновских характеристических линий излучения. Определен коэффициент поглощения пленки для видимого и УФ диапазонов. Обсуждается механизм формирования пленки при различных параметрах электронного пучка.