Формирование наноразмерных поверхностных слоев нержавеющей стали 03Х17Н12М2 имплантацией ионов N$^{+}$

Установлено накопление азота в наноразмерных поверхностных слоях образцов нержавеющей стали 03Х17Н12М2 при имплантации ионов N$^{+}$ до 14 at.%, формирование нитридов металлов, в основном нитрида хрома CrN, и твердого раствора внедрения. Показано, что имплантация ионов N$^{+}$ с применением предварительной обработки облучением ионами Ar$^{+}$ и O$^{+}$ приводит к снижению максимальной концентрации азота в 2 и более раза. Предполагается, что это обусловлено сегрегацией к приповерхностным слоям атомов железа в условиях облучения ионами Ar$^{+}$ и формированием оксида хрома Cr$_{2}$O$_{3}$ и гидрооксида хрома CrOOH в условиях облучения ионами O$^{+}$.