Аннотация:
На основе аналитического расчета электрических полей
развит двухэлектродный метод определения параметров полупроводниковых
пластин, имеющих отверстие эллиптической формы, на границе которого
располагаются электроды конечных размеров. Для таких условий изучено
распределение тока в пластине. Установлена связь межэлектродного
сопротивления с локальными свойствами полупроводника —
электропроводностью и параметром Холла. Показано влияние
геометрических параметров системы на ее интегральные характеристики.