Туннельная эмиссия электронов из наноструктурированных кремниевых катодных матриц с фтор-углеродным покрытием

Исследованы закономерности изменений морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин различных типов проводимости, полученных с использованием травления во фторуглеродной плазме и осаждения субнаноразмерных островковых углеродных масочных покрытий. Показано, что поверхностное структурирование с применением фторуглеродной плазмы позволяет получать заданные токи автоэмиссии при различных напряженностях внешних электрических полей. Рассмотрены физико-химические модели механизмов автоэмиссии и разрушения поверхностно модифицированных многоострийных кремниевых катодных матриц.