Рентгеновская диагностика дефектов микроструктуры кристаллов кремния, облученных ионами водорода

Изучены особенности образования и трансформации радиационных дефектов в приповерхностных слоях кремниевых пластин, имплантированных ионами водорода. Используя метод рентгеновской двухкристальной дифрактометрии высокого разрешения, определены значения основных параметров, таких как средняя эффективная толщина $L_{\operatorname{eff}}$ и средняя относительная деформация $\Delta a/a$ легированного слоя в зависимости от дозы имплантации и температуры подложки.