RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 5, страницы 781–787 (Mi jtf5627)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Физическая электроника

Зависимость наклона текстуры и эффективности возбуждения сдвиговых волн пленками ZnO от давления рабочего газа в магнетронной системе на постоянном токе

А. Г. Веселов, В. И. Елманов, О. А. Кирясова, Ю. В. Никулин

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Аннотация: Для пленок ZnO толщиной $\sim$0.45 – 1.2 $\mu$m, синтезируемых в планарной магнетронной системе на постоянном токе в сдвиговой геометрии осаждения, исследована зависимость угла наклона текстуры и эффективности возбуждения сдвиговых волн от давления рабочего газа в диапазоне 0.14 – 0.74 mTorr, при котором происходит переход режима осаждения из бесстолкновительного в близкий к диффузному. Показано, что увеличение давления с $\sim$0.14 – 0.24 до 0.74 mTorr приводит к уменьшению угла наклона столбчатой текстуры с $\sim$25 – 27 до $\sim$7$^\circ$ и снижению эффективности возбуждения звука. Пленки, синтезированные при давлениях $\sim$0.14 – 0.24 mTorr, близких к границе перехода разряда от таунсендсовского к тлеющему, характеризуются наилучшей эффективностью возбуждения сдвиговых волн – наблюдается наименьшая величина вносимых потерь при толщинах 0.45 – 0.75 $\mu$m, число наблюдаемых эхо-импульсов достигает 20 – 40, что позволяет наблюдать отраженный звук с задержкой до 80 $\mu$s при длине кристалла-звукопровода 10 mm.

Поступила в редакцию: 23.07.2018
Исправленный вариант: 23.07.2018
Принята в печать: 28.11.2018

DOI: 10.21883/JTF.2019.05.47484.289-18


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2019, 64:5, 730–736

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024