Г. Г. Соминский, Т. А. Тумарева, Е. П. Тарадаев, А. А. Рукавицына, М. Е. Гиваргизов, А. Н. Степанова, “Многострийные кольцевые полевые эмиттеры с защитными металл-фуллереновыми покрытиями”, ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 2,страницы 302

Эта публикация цитируется в 9 статьях

Физическая электроника

Многострийные кольцевые полевые эмиттеры с защитными металл-фуллереновыми покрытиями

Г. Г. Соминский^a, Т. А. Тумарева^a, Е. П. Тарадаев^a, А. А. Рукавицына^a, М. Е. Гиваргизов^b, А. Н. Степанова^b

^a Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
^b Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, г. Москва

Аннотация: Разработана методика создания многоострийных кольцевых полевых эмиттеров из кремния с двухслойным металл-фуллереновым покрытием и исследована их работа. Кольцевые эмиттеры площадью $\sim$0.3 cm$^{2}$ обеспечивают токи до 100–110 mA и стабильно работают в условиях технического вакуума $\sim$10$^{-7}$ Torr.

Поступила в редакцию: 26.03.2018

DOI: 10.21883/JTF.2019.02.47086.124-18