RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2018, том 88, выпуск 12, страницы 1900–1907 (Mi jtf5756)

Эта публикация цитируется в 19 статьях

Электрофизика, электронные и ионные пучки, физика ускорителей

In situ модификация и анализ состава и кристаллической структуры кремниевой мишени с помощью ионно-пучковых методик

Ю. В. Балакшинa, А. А. Шемухинa, А. В. Назаровa, А. В. Кожемякоb, В. С. Чернышb

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова

Аннотация: Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР) в сочетании с каналированием широко распространен в области анализа состава и структуры материалов. Представлены описание и технические параметры экспериментальной линии, предназначенной для проведения in situ ионной имплантации и спектрометрии РОР. Приведены параметры анализирующего пучка, необходимые для достижения погрешности в несколько процентов при исследовании профилей распределения примесей и дефектов. Разрешение методики было оценено при помощи спектра альфа частиц, полученных при распаде $^{239}$Pu и из РОР спектра от монокристалла кремния. Имплантация ионов Xe$^{+}$ с энергией 100 keV в монокристалл кремния и РОР анализ мишеней в режиме каналирования были проведены без нарушения вакуумных условий. Были изучены профиль распределения внедренных атомов и профиль распределения дефектов в облученных монокристаллах.

Поступила в редакцию: 25.01.2018
Исправленный вариант: 31.03.2018

DOI: 10.21883/JTF.2018.12.46796.41-18


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2018, 63:12, 1861–1867

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024