Аннотация:
Анализируется влияние режимов подачи компонент парогазовой
смеси (ПГС), степени их перемешивания, а также возможного различия
коэффициентов диффузии компонент ПГС на процесс формирования резких
гетеропереходов (ГП) GaAs$-$Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As. Получены теоретические
зависимости, связывающие основные технологические параметры процесса
с величиной размытия ГП. Результаты расчета сопоставляются с экспериментом.