Е. С. Демидов, В. В. Сдобняков, Г. В. Вазенмиллер, Ю. И. Чигиринский, Ю. А. Дудин, В. П. Лесников, В. Н. Трушин, М. С. Болдин, О. А. Белкин, А. А. Бобров, Н. В. Сахаров, “Получение распыляемых композитных мишеней, содержащих фазы сплавов Гейслера Co$_{2}$FeSi или Co$_{2}$MnSi”, ЖТФ, 2018, том 88, выпуск 7,страницы 1032

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Физическое материаловедение

Получение распыляемых композитных мишеней, содержащих фазы сплавов Гейслера Co$_{2}$FeSi или Co$_{2}$MnSi

Е. С. Демидов, В. В. Сдобняков, Г. В. Вазенмиллер, Ю. И. Чигиринский, Ю. А. Дудин, В. П. Лесников, В. Н. Трушин, М. С. Болдин, О. А. Белкин, А. А. Бобров, Н. В. Сахаров

Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

Аннотация: Описан способ изготовления механически прочных, распыляемых композитных мишеней, содержащих фазу сплава Гейслера Cо$_{2}$FeSi или Co$_{2}$MnSi стехиометрического состава, который может быть использован для изготовления приборов спиновой электроники методом высокочастотного магнетронного осаждения и импульсного лазерного осаждения тонких пленок.

Поступила в редакцию: 23.10.2017

DOI: 10.21883/JTF.2018.07.46172.2528