Исследование структуры ультратонких поликристаллических пленок Fe, выращенных на поверхности SiO$_{2}$/Si(001)

Методом дифракции быстрых электронов (ДБЭ) исследована структура поликристаллических пленок Fe, выращенных на окисленной поверхности Si(001) при комнатной температуре. Установлено, что ориентация зерен в выращенных пленках зависит от количества осажденного железа. Для пленок Fe толщиной менее 5 nm была характерна случайная ориентация зерен Fe. Пленки Fe толщиной более 5 nm имели (111) текстуру, ось которой совпадала с нормалью к поверхности. Угловое отклонение направления [111] решетки Fe относительно нормали к поверхности составляло $\pm$ 25$^\circ$. Обнаружено, что увеличение толщины пленки железа приводит к появлению (110) текстуры.