Влияние материала металлического подслоя и геометрии осаждения на формирование текстуры в пьезоактивных пленках ZnO

Исследовано влияние материала металлического подслоя (алюминий, ванадий, хром, железо, кобальт, никель, медь) и геометрии осаждения на формирование наклонной и прямой текстуры в пленках ZnO, синтезируемых в магнетронной распылительной системе на постоянном токе. Установлено, что пьезоактивные пленки ZnO с наклонной текстурой, способные возбуждать сдвиговые волны, формируются на металлических подслоях Cr и V в сдвиговой геометрии осаждения (подложка смещена относительно оси магнетрона в область эрозии мишени). Пьезоактивные пленки ZnO с прямой текстурой, способные возбуждать продольные волны, сформированы в симметричной геометрии осаждения (подложка расположена по центру мишени) на химически чистом Al подслое. Изменение материала подслоя для каждой из геометрий осаждения или предварительное окисление подслоя привело к формированию пьезоактивных пленок ZnO со смешанной текстурой, возбуждающих сетку сдвиговых и продольных волн. С использованием метода химического травления показано, что получаемые пленки ZnO с наклонной текстурой проявляют пьезоактивные свойства и способны возбуждать гиперзвук начиная с толщины $\sim$0.3 $\mu$m, а пленки ZnO с прямой текстурой с толщины $\sim$0.9 $\mu$m.