Упрочнение поверхностного слоя металлических изделий воздействием плазмы комбинированного газового разряда

Изучены свойства комбинированного газового разряда пониженного давления, возникающего в резонаторной камере вблизи поверхности обрабатываемого металлического изделия при наложении сверхвысокочастотного электромагнитного и электростатического полей. Показано, что при подаче на образец постоянного потенциала вблизи него формируется приповерхностный слой, в котором в зависимости от знака потенциала происходит ускорение положительных ионов или электронов до энергий, составляющих сотни eV. Взаимодействие ускоренных частиц с образцом приводит к выделению в тонком приповерхностном слое количества теплоты, достаточного для его расплавления. В случае подачи положительного потенциала возникает упрочняющая поверхность изделия нанокомпозитная структура. Получены оценки физических параметров комбинированного газового разряда.