Анизотропия оптических, электрических и фотоэлектрических свойств модифицированных фемтосекундным лазерным облучением пленок аморфного гидрогенизированного кремния

Два типа независимых анизотропных структур были сформированы одновременно в результате структурной модификации пленок аморфного гидрогенизированного кремния облучением фемтосекундного лазера: структура с периодом в единицы-десятки микрометров и структура с периодом в сотни нанометров. Различие механизмов возникновения данных структур позволяло желаемым образом формировать их относительную ориентацию. Обе структуры независимо влияли на оптические свойства модифицированных пленок, приводя к дифракции проходящего света и возникновению поляризационной оптической чувствительности пленок. Проводимость модифицированных пленок коррелировала с взаимной ориентацией анизотропных структур, в то время как взаимосвязи фотопроводимости с оптическими особенностями модифицированных пленок обнаружено не было.