Изменение оптических и структурных свойств пленок оксида цинка после лазерной обработки

Исследовано влияние лазерного отжига на электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, полученных методом плазмо-химического осаждения при пониженном давлении. Показано, что под воздействием модифицирующего излучения происходит аморфизация ZnO.