Влияние структуры стеклоуглерода на аспектное отношение микроострий матричных автоэмиссионных катодов, изготовленных термохимическим травлением

Использование технологии термохимического травления позволило проявить и исследовать структуру стеклоуглерода марки СУ-2000 методом электронной микроскопии. На микро- и наноразмерном уровнях структура стеклоуглерода неоднородна и состоит из полостей неправильной в сечении формы, разделенных перегородками. Данная структура накладывает ограничения на величину аспектного отношения геометрических размеров и плотность упаковки микроострий в матрице при их изготовлении методом термохимического травления.