Особенности формирования микроструктур с высоким аспектным соотношением при изготовлении полимерных микрофлюидных чипов для исследования единичных живых клеток in vitro

Технологии и методы прототипирования микрофлюидных устройств находят широкое применение при решении многих биологических задач и проверки работоспособности новых микроаналитических систем. Работа посвящена изучению особенностей формирования микроструктур в фоторезисте SU-8 и созданию реплик в полидиметилсилоксане методом “мягкой” литографии. Показано, что величина аспектного соотношения получаемых микроструктур определяется их формой, размерами, силой адгезии резиста к кремниевой подложке и эффективностью циркуляции проявителя вокруг микроструктур. На примере репликации сложных микроструктур достигнуто значение аспектного соотношения $\sim$25. Обсуждаемая в работе технология использована при изготовлении микрофлюидных чипов с “механическими” ловушками для фиксации и исследования единичных живых клеток in vitro.