Наноиндентирование твердого керамического покрытия, сформированного на мягких подложках

Исследованы твердость и модуль Юнга тонкого покрытия на основе гидроксиапатита, сформированного методом высокочастотного магнетронного распыления на подложках из магниевого сплава, титана и стали. Установлено, что для таких покрытий величины твердости и модуля Юнга с ростом глубины проникновения стремятся к значениям, характерным для подложек. Показано, что наблюдаемая разница значений твердости и модуля Юнга при малых глубинах отпечатка ($h<$ 80–100 nm) может быть обусловлена различиями физико-механических свойств покрытий, а при больших глубинах ($h>$ 100 nm) – дополнительным влиянием прочностных свойств материала подложки.