Коаксиальный (трубчатый) тлеющий разряд в электроотрицательных газах

Рассмотрена плазма положительного столба электроотрицательного тлеющего разряда низкого и среднего давлений, горящего в зазоре между двумя коаксиально расположенными цилиндрическими трубками; ток направлен вдоль оси трубок. Полагается, что в состав смеси газов входят галогены, а ионная диффузия не пренебрежимо мала. Установлено, что характерной чертой коаксиального разряда является расслоение плазмы в поперечном к току направлении на три коаксиальные области с разным составом. Показано значительное увеличение частот ионизации и возбуждения атомов по сравнению с чисто цилиндрическим случаем даже при небольшой (0.05–0.15) величине отношения радиусов внутренней и внешней стенок. Из асимптотического анализа уравнений непрерывности получены аналитические соотношения, позволяющие быстро и легко оценить геометрические параметры пространственных распределений концентраций заряженных частиц, а также энергетические параметры плазмы при отношении радиусов, большем 0.3. Путем сравнения результатов аналитических и численных расчетов установлены условия применимости аналитических соотношений и их точность.