Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов, В. Е. Стрельницкий, В. В. Пилько, “Влияние облучения ионами гелия на структуру, фазовую стабильность и микротвердость наноструктурированных покрытий TiN, TiAlN, TiAlYN”, ЖТФ, 2016, том 86, выпуск 5,страницы 57

Эта публикация цитируется в 11 статьях

Твердое тело

Влияние облучения ионами гелия на структуру, фазовую стабильность и микротвердость наноструктурированных покрытий TiN, TiAlN, TiAlYN

Ф. Ф. Комаров^a, С. В. Константинов^a, В. Е. Стрельницкий^b, В. В. Пилько^a

^a Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко Белорусского государственного университета, г. Минск
^b Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт"

Аннотация: Исследована радиационная стойкость наноструктурированных покрытий TiN, TiAlN, TiAlYN при облучении ионами He$^{+}$ с энергией 500 keV в диапазоне флюенсов от 5 $\cdot$ 10$^{16}$ до 3 $\cdot$ 10$^{17}$ ions/cm$^{2}$. Изучено изменение фазового состава, структуры, параметров кристаллической решeтки, морфологии и механических свойств покрытий под воздействием облучения ионами гелия. Обнаружено отсутствие блистеринга, выявлен факт нелинейного влияния флюенса облучения на прочностные свойства тонких покрытий. Обнаружено значительное уменьшение размеров зерен в покрытиях при ионном облучении, что обусловливает увеличение микротвердости и радиационной стойкости покрытий. Установлено, что наноструктурированные покрытия TiN, TiAlN, TiAlYN являются радиационно-стойкими и не подвержены катастрофической деградации под воздействием высокофлюенсного ионного облучения.

Поступила в редакцию: 07.07.2015