Люминесцентный асимметричный планарный волновод на основе аморфного карбида кремния с поляризованным излучением в модах утечки

Методом плазмохимического газофазного осаждения изготовлены люминесцентные асимметричные планарные волноводы (АПВ) на основе пленок аморфного карбида кремния субмикронной толщины, нанесенных на кварцевую подложку. При возбуждении фотолюминесценции в АПВ в спектрах излучения с торца подложки зарегистрированы узкие пики линейно ($P$ и $S$) поляризованного излучения, обусловленные излучением в модах утечки АПВ. Исследована зависимость спектрального положения пиков от угла выхода излучения из торца подложки и от толщины пленки. Показано, что при скользящих углах выхода излучения длина волны излучения почти не зависит от угла. Продемонстрировано, что разница между длинами волн $P$- и $S$-поляризованных пиков в спектрах ФЛ уменьшается с увеличением толщины волновода. Показано, что для мод утечки волновод действует как оптический микрорезонатор. Амплитуда пика в $S$-поляризации больше, чем в $P$-поляризации из-за того, что моды утечки с $S$-поляризацией имеют большую добротность чем, моды утечки с $P$-поляризацией. Изготовленные люминесцентные АПВ могут быть применены для получения световых лучей с радиальной и азимутальной поляризациями.