Влияние давления рабочего газа на магнитные свойства и текстуру поликристаллических пленок Fe/SiO$_{2}$/Si(100), полученных магнетронным распылением

Исследованы магнитные свойства и текстура поликристаллических пленок Fe/SiO$_{2}$/Si(100) толщиной 90 nm, полученных магнетронным распылением при различном давлении рабочего газа. Показано, что снижение давления может приводить к росту намагниченности пленок на 50% и уменьшению ширины линии ферромагнитного резонанса и поля коэрцитивности более чем на порядок. Указанные изменения магнитных свойств отражают смену текстуры пленок с Fe(110) на Fe(200) и переход от столбчатой микроструктуры к квазиоднородной.