RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2016, том 86, выпуск 5, страницы 141–144 (Mi jtf6565)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физическая электроника

Влияние давления рабочего газа на магнитные свойства и текстуру поликристаллических пленок Fe/SiO$_{2}$/Si(100), полученных магнетронным распылением

Ю. В. Никулинab, А. С. Джумалиевab, Ю. А. Филимоновabc

a Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
b Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского
c Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю. А.

Аннотация: Исследованы магнитные свойства и текстура поликристаллических пленок Fe/SiO$_{2}$/Si(100) толщиной 90 nm, полученных магнетронным распылением при различном давлении рабочего газа. Показано, что снижение давления может приводить к росту намагниченности пленок на 50% и уменьшению ширины линии ферромагнитного резонанса и поля коэрцитивности более чем на порядок. Указанные изменения магнитных свойств отражают смену текстуры пленок с Fe(110) на Fe(200) и переход от столбчатой микроструктуры к квазиоднородной.

Поступила в редакцию: 24.09.2015


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2016, 61:5, 779–782

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024