Состав морфология и электронная структура наноразмерных фаз, созданных на поверхности SiO$_{2}$ бомбардировкой ионами Ar$^{+}$

Изучено влияние бомбардировки ионами Ar$^{+}$ на состав и структуру поверхности SiO$_{2}$/Si. Обнаружено, что при высокодозной ионной бомбардировке на поверхности SiO$_{2}$ образуется тонкая пленка Si.