Характеристики локализованного газового разряда

Проведены исследования высокочастотного емкостного газового разряда при расстояниях между электродами 15 – 200 $\mu$m и установлены возможные формы его существования. Определены условия формирования дискретных микроразрядов с заданной геометрией, локализующихся у отдельных элементов поверхностей электродов.