Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн

Предложена методика создания свободновисящих пленочных элементов, предназначенных для коррекции аберраций волнового фронта излучения в оптических схемах с рабочей длиной волны в спектральной области мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов. Изготовлены образцы пленочных структур, служащих исходной основой при формировании фазовых корректоров с характерной величиной модуляции фазы, соответствующей оптической разности хода $\sim$1 nm на длине волны 13.5 nm, и с однородным по апертуре пропусканием не менее 60%. Продемонстрирована возможность использования ионного травления для локального изменения толщины свободновисящих многослойных пленок.