Аннотация:
Изучено влияние тонких прослоек карбида бора (B4C) на внутреннее строение и коэффициент отражения на длине волны 2.74 nm Cr/Ti многослойных зеркал при нормальных углах падения. Зеркала имели 400 периодов величиной около 1.4 nm. Достигнуто увеличение коэффициента отражения с 5 до 11%. Причиной роста коэффициента отражения является уменьшение перемешивания материалов на границах. Значительная часть работы посвящена вопросу прецизионной рефлектометрии на лабораторном рефлектометре в спектральной области “окна прозрачности воды”.