RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2024, том 94, выпуск 8, страницы 1250–1259 (Mi jtf6827)

XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Физическая электроника

Многослойные зеркала на основе Cr/Ti для рентгеновской микроскопии “в окне прозрачности воды”

С. А. Гарахинa, Е. С. Антюшинa, М. М. Барышеваab, А. Е. Пестовa, В. Н. Полковниковa, Р. С. Плешковa, Р. М. Смертинa, Н. И. Чхалоa

a Институт физики микроструктур РАН, 607680 Афонино, Нижегородская обл., Россия
b Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603022 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Изучено влияние тонких прослоек карбида бора (B4C) на внутреннее строение и коэффициент отражения на длине волны 2.74 nm Cr/Ti многослойных зеркал при нормальных углах падения. Зеркала имели 400 периодов величиной около 1.4 nm. Достигнуто увеличение коэффициента отражения с 5 до 11%. Причиной роста коэффициента отражения является уменьшение перемешивания материалов на границах. Значительная часть работы посвящена вопросу прецизионной рефлектометрии на лабораторном рефлектометре в спектральной области “окна прозрачности воды”.

Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, рефлектометрия, мягкий рентгеновский диапазон, окно прозрачности воды, буферные слои, рентгеновская трубка, дифракционная решетка, ионный источник.

Поступила в редакцию: 13.05.2024
Исправленный вариант: 13.05.2024
Принята в печать: 13.05.2024

DOI: 10.61011/JTF.2024.08.58552.162-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024