Р. А. Шапошников, Н. В. Загайнов, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, “Многослойные рентгеновские зеркала на основе бора для спектрального диапазона 6.7–9 nm”, ЖТФ, 2024, том 94, выпуск 8,страницы 1260

XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Физическая электроника

Многослойные рентгеновские зеркала на основе бора для спектрального диапазона 6.7–9 nm

Р. А. Шапошников, Н. В. Загайнов, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев

Институт физики микроструктур РАН, 603087 Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия

Аннотация: Приведены результаты исследования отражательных характеристик и структурных параметров многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Ru/B$_4$C, оптимизированных на рабочий диапазон длин волн 67–90 $\mathring{\mathrm{A}}$. Приведено сравнение данных структур с зеркалами Mo/B$_4$C и La/B$_4$C.

Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, синхротронные приложения, монохроматоры рентгеновского излучения, рентгеновская литография.

Поступила в редакцию: 12.04.2024
Исправленный вариант: 12.04.2024
Принята в печать: 12.04.2024

DOI: 10.61011/JTF.2024.08.58553.119-24