RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2023, том 93, выпуск 4, страницы 535–545 (Mi jtf6978)

Плазма

Оптимизация газовых смесей многополосных эксиламп

А. М. Бойченкоa, М. С. Кленовскийb, Э. А. Соснинcd, В. Ф. Тарасенкоcd

a Институт фундаментальных проблем теоретической физики и математики, 123022 Москва, Россия
b Высшая школа химической технологии, 16628 Прага, Чехия
c Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск
d Национальный исследовательский Томский государственный университет

Аннотация: Рассмотрена проблема оптимизации газоразрядных источников многополосного ультрафиолетового излучения – эксиламп. Предложена методика по оценке соотношения парциальных давлений компонент газовой смеси, позволяющая упростить процесс разработки многополосной эксилампы с желаемым соотношением мощностей излучения полос. Показано, что оптимизация многополосной эксилампы на смеси одного инертного газа с несколькими галогеноносителями может быть сведена к задаче оптимизации эксилампы на двухкомпонентной смеси. В случае необходимости использования, наряду с излучением эксиплексных, излучения также и эксимерных молекул, данная методика позволяет регулировать относительный вклад мощностей этих молекул.

Ключевые слова: газовый разряд, источники ультрафиолетового излучения, кинетика плазмохимических процессов, эксимерные и эксиплексные молекулы.

Поступила в редакцию: 15.11.2022
Исправленный вариант: 31.01.2023
Принята в печать: 09.02.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.04.55042.247-22



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025