Аннотация:
Рассмотрена проблема оптимизации газоразрядных источников многополосного ультрафиолетового излучения – эксиламп. Предложена методика по оценке соотношения парциальных давлений компонент газовой смеси, позволяющая упростить процесс разработки многополосной эксилампы с желаемым соотношением мощностей излучения полос. Показано, что оптимизация многополосной эксилампы на смеси одного инертного газа с несколькими галогеноносителями может быть сведена к задаче оптимизации эксилампы на двухкомпонентной смеси. В случае необходимости использования, наряду с излучением эксиплексных, излучения также и эксимерных молекул, данная методика позволяет регулировать относительный вклад мощностей этих молекул.
Ключевые слова:газовый разряд, источники ультрафиолетового излучения, кинетика плазмохимических процессов, эксимерные и эксиплексные молекулы.
Поступила в редакцию: 15.11.2022 Исправленный вариант: 31.01.2023 Принята в печать: 09.02.2023