Рентгенооптические исследования характеристик многослойных структур

Рассмотрена методика определения следующих параметров реальных многослойных структур: средний период и соотношение толщин слоев в периоде; размытие границ слоев, обусловленное или межплоскостными шероховатостями, или взаимной диффузией материалов; дисперсия флуктуаций толщин пленок и реальные плотности материалов слоев. Методика основана на анализе угловой зависимости коэффициента отражения «жесткого» (${\lambda\sim1\div2}$ Å) рентгеновского излучения в области полного внешнего отражения и главных брэгговских максимумов. Применение методики иллюстрируется на примере исследования параметров многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Ni$-$С с помощью излучения ${\lambda(\text{Cu}\,K_{\alpha})=1.54}$ Å и экстраполяции свойств зеркал в область «мягкого» рентгеновского излучения. Результаты измерений коэффициентов отражений и селективности зеркал на длинах волн 17.6, 44.7 и 64.4 Å показали хорошее совпадение данных экстраполяции с экспериментом.