Анализ рассеяния света отверстием в пленке методом дискретных источников

Работа посвящена анализу рассеяния света отверстием в пленке, расположенной на силиконовой подложке. Для проведения численного моделирования предложено использовать метод дискретных источников. Рассмотрены вопросы построения приближенного решения. Обсуждаются численные результаты.