Разностные схемы для уравнения Больцмана–Фоккера–Планка

Для уравнения Больцмана–Фоккера–Планка построена и исследована разностная схема с использованием адаптивной сетки по энергетической переменной. Адаптация сетки производится как для выполнения сеточных аналогов законов сохранения частиц в потоке и энергии (полная консервативность), так и для построения соответствующей точной монотонной явной разностной схемы для усеченного уравнения Фоккера–Планка. Приводятся результаты моделирования имплантации бора (В) в кремний (Si) в области энергий от 10 до 100 МэВ. Получено хорошее согласование с экспериментальными данными и результатами моделирования методом Монте-Карло.