О математическом моделировании многомерных задач ионной имплантации

Рассматриваются вопросы моделирования взаимодействия потоков ускоренных ионов с твердым телом для многомерных задач ионной имплантации. Предложена математическая модель и вычислительные алгоритмы для ее реализации. Приведены результаты численного моделирования и проведено сравнение с экспериментальными данными и результатами расчетов методом Монте-Карло.