Анализ математической модели загрязнений силиконовых вафель на основе метода дискретных источников

Работа посвящена анализу на основе метода дискретных источников строгой математической модели задачи рассеяния света проницаемой частицей, расположенной на поверхности подложки. Рассмотрены вычислительные аспекты алгоритмизации задачи. Приведены примеры численного анализа.