Аннотация:
Представлена компьютерная модель роста в МЛЭ кристалла полупроводника типа III–V, в которой
в отличие от традиционной модели “твердое на твердом” допускается образование объемных вакансий.
Приведены результаты вычислительного эксперимента по моделированию роста кристалла при низкой температуре для различных значений плотности потока элементов V-й группы.