Аннотация:
В работе предложена замкнутая самосогласованная математическая модель газоразрядных систем низкого давления, описывающая на кинетическом уровне поведение заряженных и нейтральных частиц в межэлектродном промежутке. На основе сведения кинетических уравнений к эквивалентным интегральным строится и обосновывается эффективный алгоритм расчета динамики потоков быстрых частиц в газоразрядном промежутке как в стационарном, так и в нестационарном случае. Приведены примеры
расчета ряда конкретных систем.