Трехмерное моделирование переходных процессов в элементах интегральных схем

Предложен полунеявный абсолютно устойчивый метод расчета переходных процессов в элементах интегральных схем в трехмерной геометрии. Осуществлено моделирование переходных процессов в биполярном транзисторе и проведено сравнение результатов трехмерного и двумерного моделирования.