Модель роста арсенида галлия в молекулярно-лучевой эпитаксии

Представлена статистическая модель роста арсенида галлия в методе молекулярно-лучевой эпитаксии. Модель включает в себя процессы адсорбции, десорбции, миграции галлия и диссоциативной адсорбции, ассоциативной десорбции, миграции мышьяка. Описан алгоритм Монте–Карло. Приведены результаты расчетов.