RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Математическое моделирование // Архив

Матем. моделирование, 1990, том 2, номер 8, страницы 60–69 (Mi mm2426)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Математические модели явлений и процессов

Одномерная модель диффузии в системе поликремний-кремний

А. Д. Садовниковa, А. В. Черняев

a Московский физико-технический институт (государственный университет)

Аннотация: Рассматривается модель диффузии примеси в слое поликристаллического кремния. Переменными модели являются поверхностная концентрация примеси в межзеренной границе и объемная концентрация в зерне. Выводятся уравнения модели, учитывающие увеличение среднего размера зерна, сегрегацию примеси на межзеренной границе, накопление примеси на границах поликремний-кремний и поликремний -окисел. Показана возможность учета влияния толщины промежуточного квазиокисного слоя на диффузию в граничных условиях модели. Проведено сравнение результатов моделирования с экспериментальными данными.

УДК: 621.315.592.002

Поступила в редакцию: 02.04.1990



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024