Моделирование процесса выхода вещества с поверхности облучаемых полимерных резистов

В работе проведено моделирование процесса выхода из облучаемого ионами полимерного резиста низкомолекулярных соединений (фрагментов), образующихся под действием облучения. На основе модели диффузионного травления полимеров определены и проанализированы кинетические режимы, определяющие временные зависимости потоков вещества с облучаемой поверхности. Рассмотрены случаи непрерывного и импульсного облучения. Сравнение полученных зависимостей с результатами известных из литературы экспериментов позволило оценить скорость ухода фрагментов с поверхности, константу скорости рекомбинации и коэффициент их диффузии.