Аннотация:
Предложена новая модель анализа таких малозаметных дефектов подложки, как пологие полости и выпуклости в подложке. Проведено исследование и получены результаты применения модели для случая трёхмерной задачи рассеяния на различных дефектах подложки.
Ключевые слова:дефекты подложки, задача рассеяния.
Полный текст:
PDF файл (450 kB)