Моделирование роста поверхности тонких плёнок

В статье рассматривается проблема моделирования роста поверхности тонких пленок. Проведен краткий обзор существующих подходов и моделей. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких плёнок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и позволяющая исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Проведено сравнение результатов моделирования с данными атомно-силовой микроскопии экспериментально полученных образцов тонких плёнок.