Моделирование струйного течения высокочастотной плазмы при пониженных давлениях

Приводится описание математической модели потока высокочастотной плазмы при давлении 13.3–133 Па в переходном режиме при числах Кнудсена $8\cdot10^{-3}\leqslant Kn \leqslant 7\cdot10^{-2}$ для несущего газа. Модель построена на основе статистического подхода для нейтральной компоненты плазмы и модели сплошной среды для электронной и ионной компонент. Приведены результаты расчета течения нейтральной компоненты плазмы в невозмущенном потоке и при наличии в струе образца и модельной задачи для электронно-ионного газа.