Численное моделирование газофазного осаждения с учётом диффузионных процессов

Предложена модель теплопроводности, учитывающая особенности тепло- и массообмена в процессе газофазного осаждения на криволинейную поверхность. С использованием интегро-интерполяционного метода построена разностная схема, найдено численное решение поставленной задачи. Исследованы аппроксимация и устойчивость разностной схемы. Представлены примеры численного расчёта для различных материалов.